471-TT

ウェーハ測定工程における複数チップ同時測定を実現した新しいコンセプトのDCテスタです。当社の強みである高電圧・大電流測定技術も継承しており、複数チップを同時測定することにより従来テスタに比べ大幅な生産性の向上を図ることができます。
また昨今の市場要求となるアバランシェ測定
（※１）のワンパス測定にも対応しました。
（※１）専用の測定ユニット（8パラレル限定）が必要となります。またテスト条件や測定環境により対応出来ない場合があります。

特徴

・複数チップ同時測定(8パラレル/16パラレル)によるコストパフォーマンスの向上
・DC測定とアバランシェ測定を両立
・LANを採用することで、データ通信時間の大幅短縮を実現
・リレー切換の高速化により、測定時間の短縮を実現・当社の測定技術を生かし、パラレル測定においても安定した測定を実現　（Max 2kV/20A）
・電圧／電流制限設定が可能なため、プローブピンへの負荷を軽減することができます
・あらかじめ設定された印加可能最大電流値（プローバチャックの電流容量値）以下となるように、同時に測定するチップ数を自動で分割設定