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製品情報
Product
MEMSハンドラ
5164-IH
“ULTRA ” は、加速度センサー、ジャイロセンサー等MEMSデバイスのファイナルテスト用のテストハンドラーです。独自の搬送方式を用いることで最大96サイトの同時測定を実現し、低温、高温環境下での6DOF(3軸加速度＋3軸ジャイロ)の測定が可能です。研究開発用にマニュアル測定を行えるULTRA L という測定部ユニットも準備しております。
測定時間が短い場合に適した高スループット版の4664-IHも準備しております。
特徴
・多数個同時測定(～96 DUT)
・高精度温度制御(±1℃以内)
・航空宇宙産業クラスのモーションユニット
・高性能I/Oケーブル(1.0GHz/50Ω同軸)
・6DOFの測定が可能
・磁気テスト(オプション)が可能
・UPH 10,000個以上
・容易なデバイスコンバージョン
| 項目 | 詳 細 | |
供給/収納 |
JEDEC Tray | トレイ to トレイ |
対象デバイス |
種類 | LGA, QFP, QFN, BGA, CSP 他 |
| サイズ | 2x2mm ～ 8x8mm | |
測定 |
同時測定数 | 2 ～ 96個 |
温度測定 |
温度範囲 | -40 ～ +125℃ 標準 |
| -45 ～ +135℃ オプション | ||
| 温度設定分解能 | 0.1°C | |
| 温度精度 | ±1°C | |
| ソークタイム | プログラム可能、最大 999秒 | |
| 昇温時間 | 60分 (常温から +135℃) | |
| 降温時間 | 60分 (常温から -45℃) | |
測定機構 |
1次軸（モータ 主軸） | -360° から +360° |
| 2次軸（外側 ジンバル） | 0° から +90° | |
| 3次軸（内側 ジンバル） | 0° から +90° | |
スタティック動作ライン数 |
位置正確度 | ±15 Arc Seconds (0.005º) |
| 位置精度（3σ） | ±5 Arc Seconds (0.001º) | |
| 角速度 | 0.0005 º/s ～ 1,000 º/s | |
| 角加速度 | 0.256 º/s2 ～ 3,500 º/s2 | |
| 角速度安定度 | 設定された値に対して±0.01% | |
サイン動作 |
最大角加速度 | 3,500 º/s2 |
| 角速度レンジ | 10 º/s ～ 1,000 º/s | |
| 周波数レンジ | 1 ～ 20Hz | |
DUT I/Oケーブル |
(50Ω同軸ケーブル) | 800 チャネル |
| 帯域 | 1.0GHz | |
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