471-TT Version L

DC測定とアバランシェ耐量試験のワンパス測定システム。

東京精密製プローバ(AP3000)と一体化設計することで、パワーデバイスの大口径ウェーハの、より高品質な測定を実現。複数チップ同時測定も可能にした高効率測定システムです。

特徴

・シームレスな測定
　DC（大電流、高耐圧）からL負荷（アバランシェ耐量）まで連続的かつスムーズな測定が可能となります。
・高品質で最適な測定環境
　WTS（Wafer Test System）、DARUMAステージ、加圧カード機能により、高品質で最適な測定環境を提供します。
・４チップ同時測定に対応
　複数チップの同時測定により生産効率が大幅に改善されます。
・L負荷測定時の高速遮断
　デバイス破壊が発生した場合、測定経路を短時間（500nS以下）で遮断します。